Titelaufnahme

Titel
Konzeption und Aufbau des Positronenstrahlsystems MePS, PAS-Messungen an porösen low-k-Schichten / von Marco Jungmann
VerfasserJungmann, Marco
BetreuerKrause-Rehberg, R. Prof. Dr. ; Zschech, E. Prof. Dr. ; Leipner, H. PD Dr.
Erschienen2015 ; Halle, Saale : Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, 2015
UmfangOnline-Ressource (128 Bl. = 14,31 mb)
HochschulschriftHalle, Univ., Naturwissenschaftliche Fakultät II, Diss., 2015
Anmerkung
Tag der Verteidigung: 01.06.2015
Sprache der Zusammenfassung: Englisch
SpracheDeutsch
DokumenttypE-Book
SchlagwörterPositronen-Annihilations-Spektroskopie / Halle
URNurn:nbn:de:gbv:3:4-15111 
Zugriffsbeschränkung
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Dateien
Konzeption und Aufbau des Positronenstrahlsystems MePS, PAS-Messungen an porösen low-k-Schichten [14.3 mb]
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Nachweis
Kein Nachweis verfügbar
Keywords
monoenergetische Positronen; MePS; Positronen-Annihilations-Lebensdauer-Spektroskopie; PALS; low-k-Schichten; PAS; Positronium
Keywords (Englisch)
monoenergetic positron; MePS; positron annihilation lifetime spectroscopy; PALS; low-k dielectric layer; PAS; positronium
Keywords
Diese Arbeit befasst sich mit der Konzeption und dem Aufbau des Positronen-Lebensdauer-Messplatzes MePS (Monoenergetic Positron Spectroscopy) am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR). Der gepulste monoenergetische Positronenstrahl wird durch Paarerzeugung mit Hilfe des ELBE Elektronenstrahls generiert. MePS nutzt dabei die gute Zeitstruktur des primären Elektronenstrahls (Wiederholfrequenz 26 MHz Bunchlänge < 5 ps). Nach erfolgter Fertigstellung des Messplatzes können tiefenabhängige Positronen-Annihilations-Lebensdauer-Spektroskopie-Untersuchungen zur Charakterisierung von Defekten und Hohlräumen in Festkörpern durchgeführt werden. Erstmals angewendet wurde MePS zur Bestimmung der Porengrößen in porösen dielektrischen low-k-Schichten. Weiterhin konnte mit anderen Methoden der Positronen-Annihilations-Spektroskopie eine Aussage getroffen werden ab welchem Porositätsgrad sich in selbstorganisierenden low-k-Materialien offene Porensysteme ausbilden.
Keywords
This work deals with the design and construction of the measurement setup MePS (monoenergetic positron spectroscopy) at the Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR). MePS makes use of the excellent time structure of the primary electron beam of ELBE (repetition frequency up to 26 MHz; bunch length < 5 ps) to produce a pulsed intensely slow positron beam to allow depth-dependent positron lifetime spectroscopy. It’s the first time that the MePS system has been used to study the pore system of a series of low-k-dielectric layers. Furthermore self-assembly low-k dielectric layer with different porosity levels and distinct pore topology are characterized by using positron annihilation spectroscopy (PAS). PAS results are used to predict the value of a sudden increase of pore interconnectivity.