Titelaufnahme

Ziel dieser Arbeit ist die Untersuchung der Realisierbarkeit von kompakten spektroskopischen Gassensoren auf Basis photonischer Kristalle. Das zu Grunde liegende Funktionsprinzip basiert auf der Ausnutzung langsamer Gruppengeschwindigkeiten im photonischen Kristall, woraus eine verstärkte Wechselwirkung zwischen Strahlung und Gas in den Poren des photonischen Kristalls resultiert. Mit Hilfe numerischer Methoden wurde ein entsprechendes Wechselwirkungsvolumen aus 2-dimensionalen photonischen Kristallen basierend auf makroporösem Silizium entworfen. Um trotz der Verwendung von photonischen Kristall(Bloch)moden mit extrem niedrigen Gruppenge-schwindigkeiten hohe Transmission durch das Wechselwirkungsvolumen zu erzielen, wurden zwei Konzepte zur effektiven Ein- und Auskopplung von elektromagnetischer Strahlung untersucht. Mit dem in dieser Arbeit entwickelten Anti-Reflection-Layer (ARL) Konzept, welches auf Kopplung mittels Oberflächenmoden basiert, ist es möglich Transmission von mehr als 90% bei einer Verstärkung der Wechselwirkung zwischen Gas und Licht von mehr als einem Faktor 30 zu erzielen. Entsprechende photonische Kristallstrukturen aus makroporösem Silizium wurden hergestellt. Der zur Herstellung verwendete photo-elektrochemische Ätzprozess wurde weiterentwickelt um Makroporen mit Tiefen von mehr als 450 µm herzustellen. Zur experimentellen Realisierung des ARL Konzeptes gelang es erstmals, tiefe Gräben neben geordneten Makroporenfeldern zu ätzen. Diese Methode liefert neben der ARL-Realisierung zusätzlich noch glatte Koppelkanten für die einfallende Strahlung und erlaubt des weiteren manuelle Vereinzelung von photonischen Kristall Sensorstrukturen mit sub-µm Präzision. Erste optische Messungen zur Charakterisierung der photonischen Kristallstrukturen mit ARL sowie Transmissionmessungen durch photonische Kristallstrukturen mit mehr als 200 Porenreihen in Transmissionrichtung wurden demonstriert.

Goal of this work is the investigation of the feasibility of compact photonic crystal-based spectroscopic gas sensors. The underlying working principle is based on the utilization of low group velocities in the photonic crystal from which an enhanced interaction of radiation and gas within the photonic crystal results. Using numerical methods, an appropriate interaction volume made of 2-dimensional macroporous silicon photonic crystals was developed. To ensure high transmission through the photonic crystal despite the utilization of low group velocity modes, two concepts to achieve efficient coupling of light were investigated. The concept entitled Anti-Reflection-layer (ARL), which was developed in this work and utilizes coupling via surface modes, allows transmission through the photonic crystal interaction volume of more than 90% while a more than 30-fold interaction enhancement is achieved. Experimental realization of macroporous silicon photonic crystal structures with various coupling schemes was demonstrated. The photo-electrochemical etching process was improved to achieve macroporous structures of more than 450 µm depth. Experimental realization of the ARL concept was achieved by etching trenches next to ordered macropore arrays for the first time. In addition, this method yields almost flat coupling interfaces for incoming and outgoing radiation and allows manual device dicing with sub-µm precision ! First optical characterization of photonic crystal structures with and without ARL as well as transmission measurements through photonic crystal structures of more than 200 pore rows along the transmission direction were performed.