Im Rahmen dieser Dorktorarbeit werden die Grundlagen der Laser Interferenz Lithographie (LIL) und dessen experimenteller Aufbau, Lloyd's-Spiegel Interferometer, beschrieben, der die parallele Herstellung von periodischen Nanostrukturen, wie Linienstrukturen und Loch- und Dot-Gitter mit einer Periode von 170 nm zu 1.5 µm auf bis zu 4 Zoll Fläche erlaubt. Die folgenden neuartigen Anwendungen solcher Nanostrukturen wurde in dieser Arbeit entwickelt: (1) In Verbunden mit Atomic Layer Deposition (ALD) und elektrochemischer Abscheidung wurden periodische Nanostab- oder Nanoring-Ensembles in cm2-Maßstab hergestellt. (2) Großflächige Si3N4- und Ni-Imprintstempel mit periodischen Strukturen wurden von Master-Strukturen replizirt. Die Stemple wurden für die Vorstrukturierung der Aluminiumoberfläche eingesetzt, wodurch anschließend großflächigen monodomänige Aluminiumoxid-Membranen mittels Eloxal-Process erzeugt wurden. Die periodische Gitter- und Nanogräben und horizontale Nanoporen mit sub-50 nm Strukturgröße wurde auf Siliziumsubstraten durch Verminderung der Strukturgrößen mittels mehrfacher thermischer Oxidation erzielt. Die periodischen horizontalen Nanoporen mit quadratischem Querschnitt wurde mittels einer Fotolackopferschicht erzeugt.
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