Titelaufnahme

Titel
Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik / Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik, IWM
KörperschaftFraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM
ErschienenHalle (Saale), 2013 ; Halle, Saale : Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, 2013
UmfangOnline-Ressource (PDF-Datei: [2] S., 3,55 MB) : Ill.
SpracheDeutsch
URNurn:nbn:de:gbv:3:2-45947 
Zugriffsbeschränkung
 Das Dokument ist frei verfügbar
Dateien
Komponenten der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik [3.55 mb]
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Kein Nachweis verfügbar
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