Nanoporöses selbstgeordnetes Al2O3 (anodisches Aluminiumoxid, AAO) ist eine vielseitige Plattform für verschiedenste Anwendungsmöglichkeiten in Bereichen wie Sensortechnik, Speicherung, Separation und die Herstellung eindimensionaler Nanostrukturen. Grundlage für die Herstellung von AAO mit hoher reproduzierbarer Qualität der Porenstrukturen ist der von H. Masuda und M. Fukuda entwickelte, so genannte, Zweistufenprozess. Dieser Prozess findet unter eng definierten Bedingungen statt, außerhalb derer keine Selbstordnung erzielt werden kann. Die niedrige Wachstumsrate des AAO unter diesen Prozessbedingungen führt zu lange Prozesszeiten von 3-5 Tagen. Letzteres ist ein großer Nachteil dieser Prozessführung. In den letzten Jahren ist die so genannte harte Anodisation (HA) interessant für die Herstellung definierter nanoporöser selbstgeordneter AAO geworden. Die HA ist ein Anodisationsprozess, welcher in der Industrie angewandt wird, um AAO mit einer hoher Härte und Verschleißfestigkeit herzustellen. Verschiedene Gruppen haben die HA modifiziert, um AAO mit hoher Qualität der Porenordnung, mit neuen Strukturparametern und mit deutlich kürzeren Prozesszeiten, als für den Zweistufenprozess benötigt, herzustellen. Das Ziel dieser Arbeit war es, die HA unter Verwendung von H2SO4 und die dadurch hergestellten AAO hinsichtlich ihrer Prozess- und Strukturparameter zu untersuchen. Die Strukturparameter wurden in Abhängigkeit von der Anodisationszeit, der Spannung, der Stromdichte und der Elektrolytkonzentration untersucht. Ein weiteres Ziel war es, die Rissbildung, die dabei im AAO auftritt, durch eine Modifizierung des HA-Prozesses zu verhindern. Im Rahmen dieser Arbeit wurde erstmals in AAO das Phänomen der oszillierenden Porendurchmesser beobachtete und beschrieben. Außerdem wird eine mögliche Anwendung der HA für gezieltes Strukturdesign von AAO in vorgestellt.
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