Hochtransparente Kunststoffe werden immer häufiger für optische Anwendungen eingesetzt und verdrängen somit den Werkstoff Glas zunehmend vom Markt. Das wichtigste Polymermaterial für die Präzisionsoptik ist dabei Polymethylmethacrylat (PMMA). Die immer häufiger geforderte optische Funktionalisierung, hauptsächlich die Entspiegelung, kann dabei traditionell durch das Aufbringen dünner Schichten erzielt werden. Für Kunststoffe, insbesondere für PMMA, sind dabei speziell angepasste Prozesse erforderlich. Die unterschiedlichen Materialeigenschaften von Polymersubstraten und Oxidschichten bedingen oft Probleme mit Schichtadhäsion und Klimabeständigkeit. Eine alternative Herangehensweise für die Entspiegelung von Polymeroberflächen bietet das Einbringen geeigneter Mikrostrukturen. Die vorliegende Arbeit stellt dazu eine Methode zur Herstellung von Antireflexstrukturen vor, die auf einem Plasma-Ätzverfahren beruht. In den hier durchgeführten Untersuchungen wurde experimentell nachgewiesen, dass im speziellen Fall von Acryloberflächen eine Kombination des physikalischen Ionen-Ätzens und chemischer Abbaureaktionen zur Ausbildung einer Nanostruktur mit Antireflexeigenschaften führt. Es konnte gezeigt werden, dass die erzeugte Entspiegelung auf der Ausbildung eines Effektivmediums, das durch einen kontinuierlichen Brechzahlverlauf zwischen Substrat und Umgebungsmedium gekennzeichnet ist, beruht. Dabei bilden sich aus einer sehr feinkörnigen Struktur mit fortschreitender Plasmabehandlungszeit größere Agglomerate heraus. Weiterhin wurde experimentell nachgewiesen, dass die Entspiegelung auf einer Kombination aus physikalischem Abtrag und chemischer Modifikation des PMMA-Polymers beruht. Es kommt durch die Plasmabehandlung zum PMMA-Seitengruppenabbau an der Polymeroberfläche. Der Nachweis dieser Modifikation wurde mittels FTIR-Spektroskopie und XPS-Analyse erbracht. Die physikalische Strukturbildung liegt wahrscheinlich einem sehr komplexen Mechanismus zu Grunde, bei dem mehrere Einzelvorgänge zusammenwirken müssen. Für die physikalische Strukturbildung werden verschiedene Lösungsansätze vorgeschlagen.
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